В общем-то можна,
але краще використовувати ОСБ плити з приставкою "Еко",
в цих плитах як правило європейського виробництва, немає фенолу, в цьому випадку використовуються поліуретанові смоли.
А взагалі плити OSB (ОСП по російськи) це міцний (по міцності значно перевершує ДСП і навіть фанеру) тришаровий матеріал з деревини хвойних порід, може використовуватися навіть у вологих приміщеннях OSB-3 приміром, або OSB-4, ця плита витримає навіть значні механічні навантаження.
Не до кінця зрозумілий "пиріг", тепла підлога можна і на бетонну основу укладати, не зрозуміло що буде на ОСБ зверху теплих підлог.
Щодо паро-ізоляції, це дивлячись як давно робилася стяжка і яку плиту ОСБ будете використовувати (див вище, є плити працюють навіть у вологих приміщеннях).
Плита ОСП стійка до різної побутової "хімії", цвілі, грибка, прості в монтажі, тобто як матеріал для облаштування підлоги (і теплого в тому числі), відповідний цілком.
модератор вибрав цю відповідь найкращим
Під плитами OSB утеплювач не обов'язковий - можна покласти і зверху плит. А ось пароізоляція бажана тому якщо в бетонній основі є залишкова вологість, то вона перейде в плити. Але якщо підстава досить старе і сухе, то по плитах OSB можна спокійно укладати тепла підлога.
Рекомендую монтувати НЕ кабельний, а інфрачервоний підігрів. Він на багато економічніше (вживає всього 30 - 50 Вт / м.кв) та при його роботі практично відсутнє магнітне поле. Як утеплювач під плівку можна використовувати Ізолон з лавсанової відбиває.