Вакуумна електродугова установка ПІ-80 з обертовими катодами, що працює за технологією LARC призначена для нанесення покриттів на підкладки зі швидкорізальної сталі, твердих сплавів, металокераміки і пластмас. Наносяться покриття:
- одношарові, багатошарові, наноградіентние, нанослойние, нанокомпозитні, комбінації цих покриттів (TiN, TiAIN, AITiN, nACRo, TiCN-MP, TiAICN);
- бар'єрні (антидифузійним) покриття на деталі МЕМС і МСТ-приладів, зміцнюючі покриття на деталі приладів, антикорозійні покриття, біосумісні покриття, алмазоподібні бактерицидні покриття;
- наноструктурні покриття різного класу для різних деталей і вузлів мікросистемної техніки.
Основні технічні характеристики:
Установка оснащення революційною системою двох обертових циліндричних порожнистих катодів. Система технології LARC дозволяє рівномірно і оптимально використовувати всю робочу площину випарників з ефективною площею d * p * h. Високоякісний контроль рухом дуги забезпечує за рахунок високого магнітного поля, оптимальної ерозії катодів, мінімізацією крапельної фази. Обертові катоди розташовані в двері вакуумної камери і мають систему віртуального затвора для очищення поверхні катодів під час, до і після процесу нанесення покриття. Розміри камери: W400 x D380 x H520 mm. Максимальне завантаження - 50 кг. Зразки розміром (діаметром) від 1 мм до 40 см.
При використанні дугового випаровування запалюється електрична дуга. Катод встановлюється вертикально на стінки камери і до нього підводиться негативна напруга. У момент підпалу дуги на поверхні мішені виникає місцевий розплав і починається випаровування металу мішені. Однак, при випаровуванні разом з іонами матеріалу також прискорюються неіонізовані частки металу (краплі), які також осідають на поверхню інструменту. Наявність цієї крапельної фази є основним недоліком дугового методу, так як краплі погіршують якість поверхні інструменту після покриття. Технологія LARC фірми Platit дозволяє практично повністю виключити потрапляння цієї первинної крапельної фази на покриваються матеріал.
Вимоги до зразків:
- Розмір: не більше 300х400 мм;
- Вага зразка: до 40 кг.