Проявники: зберігання і виснаження
Старіння проявителей (водних розчинів лугів) відбувається внаслідок поглинання CO2 з повітря, внаслідок цього швидкість прояви, наприклад в стандартному розчині 1% КОН, падає. Тому приготовлений проявник слід зберігати в щільно закритій посудині. Проявники, якими комплектуються фоторезисти, є буферними розчинами, наприклад проявник УПФ-1Б. Цей проявник пригнічує зменшення значення рН, внаслідок поглинання CO2 з повітря, що дозволяє зберегти постійну швидкість прояви протягом тривалого часу.
Виснаження проявника є наслідком не тільки поглинання CO2 з повітря, але також через накопичення в проявнику розчиненого (проявленого) резисту. Існує просте емпіричне правило: при розчиненні в одному літрі проявника одного грама резисту швидкість прояви падає на 10% і проявник слід змінити. У таблиці 1 представлено гранична кількість пластин, яке можна виявити в 1 літрі проявника для різних марок фоторезистов і діаметрів пластин. При розчиненні в 1 літрі проявника приблизно 10 грам резисту швидкість прояви стає рівним нулю.
Допустима кількість пластин, які можуть бути виявлені в 1 літрі проявника.
Кількість пластин, шт.
Діаметр пластин, мм
Концентрація проявника і селективність
Ставлення швидкостей розчинення експонованої і не витримано неналежним чином плівки фоторезиста носить назву селективність прояви. Селективність прояви визначає один з найважливіших параметрів фоторезиста - контраст прояви. У свою чергу контраст прояви сильно залежить від концентрації проявника. Тому, використовуючи проявник УПФ-1Б при різних розведеннях, можна досягти високої швидкості прояви при розумному контрасті зображення.
Температурна залежність швидкості прояви залежить від енергії активації дифузії проявника в плівку резисту і хімічних реакцій, залучених в прояв. Доцільно підтримувати температуру постійної, при знижених температурах краще використовувати буферний проявник УПФ-1Б.
Доза експонування і швидкість прояви
Що входить до складу позитивних фоторезистов хінондіазід-сульфонат пригнічує розчинення плівки в лужних розчинах на 1-2 порядки величини. Навпаки продукт фотореакції інденкарбоновая кислота підвищує швидкість розчинення плівки приблизно на ту ж величину.
Для тонких плівок (1-2 мкм, фоторезист ФП-383) світло при експонуванні проникає на всю товщину плівки і після певної дози плівка фоторезиста проявляється дуже швидко. Подальше збільшення дози експонування практично не впливає на швидкість прояви. Однак для товстих плівок (фоторезисти ФП-25, ФП-201) ситуація абсолютно інша. Експонує світло не проникає на всю глибину плівки. Існує гранична доза експонування в процесі якої відбувається поступове знебарвлення плівки в смузі поглинання в результаті фотохімічної реакції. До певної дози експонування резист неможливо проявити до підкладки.
Універсальний буферний концентрований проявник УПФ-1Б
- Використовується для прояву будь-яких позитивних фоторезистов як вітчизняного, так і імпортного виробництва, наприклад ФП-383, ФП-25, ФП-9120, S1813, S1818, AZ і так далі
- Забезпечує відтворюваність стадії прояви. Виявляє недостатність дози експонування, наприклад в результаті погіршення параметрів ультрафіолетової лампи.
- Підтримує концентрацію виявляє розчину в процесі роботи.
- Забезпечує приготування готового проявника в будь-яких необхідних для роботи обсягах.
- Добре працює при більш низьких температурах, ніж стандартні проявники.
- Відсутня перепроявление критичних елементів зображення.
- Забезпечує м'яке прояв, з рівними і чіткими краями малюнка.
- Гарантує чистоту прояви. Проявник УПФ-1 відфільтрований через фільтр з розміром пор 1 мкм.
- Зберігає стабільність своїх характеристик протягом одного року.
- Не має потреби закупівель і зберігання їдких і гігроскопічних хімічних виявляють реактивів.
- Не має потреби повірки ваг і тітратори, наявності піпеток, бюреток, стандартних титрів і багато чого іншого.
- Проявник УПФ-1 приготований професійними хіміками, він постійно свіжий протягом всього терміну зберігання. Досить його просто розбавити дистильованою або деионизованной водою.
Проявник УПФ-1Б є концентратом. Для роботи проявник необхідно розбавити дистильованою або деионизованной водою в співвідношенні зазначеному в таблиці 2.
Ступінь розведення проявника УПФ-1Б для роботи з позитивними фоторезистом.