- алюмо-кераміка - CO 2-лазер
- сапфір - CO 2. Nd-YAG-лазери
- кристалічний кварц - CO 2. Nd-YAG-лазери
• при розрізі стекол, краю практично вільні від тріщин,
• немає внутрішньої напруги на краях зразків після УТС,
• немає абразивних частинок, що призводять до пошкодження поверхні скла,
• можливість вирізання по контуру складної форми,
• можна розрізати стопку скляних листів при правильному виборі режиму
Приклади застосування КЕРОВАНОГО ЛАЗЕРНОГО ТЕРМОРАСКАЛИВАНІЯ
6.5. ЛАЗЕРНОЕ свердління мікроотворів
ОСНОВНІ ГАЛУЗІ ВИКОРИСТАННЯ:
- алмазні фільєри для волочіння дроту (Ріс.6.30, 6.31)
- рубінові годинні камені
- керамічні та сталеві фільєри для отримання синтетичного волокна (видавлюванням)
- жиклери і інжектори для двигунів внутрішнього згоряння
- керамічні прокладки коаксіальних кабелів
- охолоджуючі компоненти для реактивних двигунів
- мікрофільтри (сигаретний папір, фільтри для протигазів)
- сітки для клистронов і т.д
- підкладки мікросхем і друковані плати
- електронно-променеві, іонно-променеві діафрагми
- гумові прокладки, дитячі соски і т.д.
ОСНОВНІ ПЕРЕВАГИ ЛАЗЕРНОГО сверління отворів
- в будь-яких матеріалах (дуже твердих, жароміцних, тендітних, пластичних, шаруватих і ін.)
- в будь-який атмосфері (включаючи вакуум)
- під будь-яким кутом до поверхні
- дуже висока аспектне відношення d h 1:25 до 1:80 (ріс.6.32) (Nd-YAG), 1: 100
- можливість отримання фігурних отворів проекційної технікою (ріс.5.8)
- можливість зміцнення стінок отворів (ріс.6.36)
- можливість металлизировать або ізолювати) отвори (ріс.6.37)
- товщина залежить від матеріалу, діаметра, точності і якості; зазвичай до 1 мм, іноді 10 cм (скло - CO 2-лазер)
- діаметр залежить від товщини від мікрон (тонкі шари, ріс.6.33) до розумних розмірів (≈ мм, ріс.6.34) аксіконная оптика або свердління по контуру (ріс.6.37)
- додаткові можливості використання струменя газу і рідини
- хімічна, механічна постобработка (ріс.5.10, 5.11)
Ріс.6.33. Отвори в міді (1, 2, 3) і в кремнії (4, 5, 6), Ріс.6.34. Перфорація отворів (ø 0.7-0.9 mm) зроблені одиночним одиночним імпульсом потужного механічна - в папері (a), імпульсно фемтосекундного ексимерного лазерапрі щільності свечастотний CO 2 лазер - робить отвори в обичтового потоку 1.2 Дж / см 2 і тривалості порядку пксек. ної папері (б) і на документах (в)
ПОЛІПШЕННЯ ЯКОСТІ ЛАЗЕРНОГО сверління мікроотворів
Багатоімпульсний метод - додаткові переваги
- скорочення розміру зони теплового впливу x пр = a τ i <
- збільшення відтворюваності отворів в n раз (n - число імпульсів), - збільшення глибини отвору в n 13 разів, відповідно збільшується максимальне відно шення d n також в n 13 раз (залежить від апертури лінзи N =