Витоки ідей, покладених в основу теорії правової держави можна виявити в працях античних мислителів (Платона, Аристотеля, Цицерона).
Вони висловлювали ідеї про непорушність і верховенство закону, про його божественне і справедливому змісті, про необхідність відповідності закону праву.
Істотний внесок у розвиток теорії правової держави внесли мислителі Нового часу.
Гуго Гроцій поділяв право на природне і позитивне. Джерелом природного права була сама природа людини. Природне право не дарується людині державою. Воно набувається людиною від народження. Держава ж створює позитивне право, яке повинно відповідати природному праву.
Спіноза одним із перших дав теоретичне обгрунтування демократичної держави. «Демократична держава обмежена правом і забезпечує права і свободи людини і громадянина».
Томас Гоббс обгрунтував ідею формального (юридичної) рівності людей перед законом і судом.
Джон Локк зазначав, що свобода полягає в тому, щоб слідувати власним бажанням у всіх випадках, коли це не заборонено законом, і не бути залежним від волі іншої людини.
Значний внесок у розвиток теорії правової держави і формування заснованої на ній державно-правової практики внесли американські мислителі і політичні діячі: Томас Джефферсон і Томас Пейн. Саме в Конституції США 1787 вперше в історії були закріплені ідеї, покладені в основу теорії правової держави.
Філософське обгрунтування теорії правової держави дали німецькі мислителі Кант і Гегель.
Кант визначив державу як об'єднання безлічі людей, підлеглих законам.
Гегель говорив, що держава є той же право, але тільки найбільш розвинене, що включає в себе всі права особистості і суспільства.
Вперше термін «правова держава» зустрічається в роботах німецьких учених в I чверті 19 століття. З цього часу теорія правової держави починає розроблятися багатьма вченими.
З вітчизняних вчених вагомий внесок у розвиток теорії правової держави внесли Коркунов, Чечеріна, Новгородцев і д.р.
Після 1919 року вчені на деякий час повертаються до теорії, але в 1929 р теорія офіційно визнається шкідливою для суспільства.
Черговий повернення до теорії правової держави намічається на початку 20 століття.