Хімія і хімічна технологія
Велике число застосувань фоторезистов коротко описано в розд. 8.5. Одне з найважливіших додатків вони знаходять у виробництві електронних інтегральних схем, де резисти використовуються для позначення ділянок нанесення покриття на кремнієвій підкладці. на яких в подальшому утворюються опору, конденсатори, діоди і транзистори готової схеми. а також металеві провідники. з'єднують між собою елементи, ізолюючі і пассивирующие шари. В процесі виробництва складної схеми може бути кілька десятків стадій перенесення зображення, травлення, легування або інших операцій. Кожна стадія має виконуватися в просторі з точністю не гірше сотень нанометрів. Для отримання необхідної точності використовуються фотографічні методи. хоча УФ-випромінювання може бути доповнено більш короткохвильовими рентгенівськими променями. пучками електронів або іонів в разі необхідності розміщення великої кількості компонентів в малому просторі. Застосовувані в даний час фоторезисти в основному побудовані на полімерних системах. Ті, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, представляють собою поліпшені варіанти фоторезистов для приготування фотопластинок. У цьому розділі будуть описані три типові системи фоторезистов. [C.256]
Зупинимося на деяких особливостях будови і зростання фазових оксидних шарів. За структурою і властивостями ці шари ділять на суцільні (щільні) і пористі. Прикладом суцільних шарів можуть служити пассивирующие шари на тантале, цирконії, алюмінії, ніобії. Суцільні шари мають стеклообразную або аморфну структуру. мають досить великим електричним опором і іноді виявляють випрямляє дію, проводячи струм лише тоді, коли метал є катодом. Типовим прикладом пористих шарів можуть служити оксидні і гідроксидні шари на кадмії, цинку, магнію. Ці шари мають кристалічну структуру і низький електричний опір (порядку декількох омов). Можливо також утворення шарів змішаного типу. Так, на алюмінії в сірчанокислих розчинах можна спостерігати суцільний шар з боку металу і пористий з боку розчину. Крім того, при поляризації електрода або в часі можуть відбуватися перехід одного типу шару в інший, кристалізація аморфних шарів, зміна їх складу та структури. [C.368]
Поляризація змінним струмом металів. схильних до пасивування, як правило, ускладнює процес пасивації внаслідок періодичного відновлення пасивуючих шарів на цих металах в катодний напівперіод струму. [C.367]
Органічні розширювачі - дубитель № 4, БНФ, гумінових кислот і ін. - помітно покращують роботу електрода при високій щільності струму і низьких температурах. Адсорбируясь на губчатому свинці, вони ускладнюють утворення великих кристалів при заряді. Крім того, вони перешкоджають виділенню сульфату свинцю при розряді у вигляді щільного фізична хімія, сприяючи кращої опрацювання активної маси. [C.79]
Метод може бути застосований не тільки для дослідження катодного поляризації, але і для вивчення пасивуючих шарів на металевому електроді. Він дає можливість повністю визначити справжню поляризаційну криву на тих ділянках, де вона при інших методах нерідко маскується мимовільними стрибками потенціалу при одночасному протилежному стрибку струму (наприклад, під час пассивирования поверхні електрода). [C.255]
В результаті появи пасивуючих шарів і плівок швидкість електродної реакції змінюється, що якісно проявляється в зміні поляризації. Про помітному дії адсорбованого шару йдеться в таких випадках, коли викликане ним гальмування досить велике, щоб бути виявленим на досвіді поряд з іншими видами поляризації (концентраційної, хімічної, структурної). [C.343]
РНС. 219. Покриття свинцю пасивуючим шаром сульфату свинцю [c.482]
З водою алюміній реагує тільки в тому випадку, якщо оксидний шар відсутній, а при нагріванні в парах води реагує активно. Пасивуючий шар оксиду можна усунути солями ртуті [c.410]
Хоча в ряді робіт експериментально було доведено існування на поверхні металів фазових полі-молекулярних окисних плівок. все ж на зміну старим уявленням про пасивуються шарі з деякою кількістю наскрізних пір як про ізолюючому шарі прийшло уявлення про однорідну суцільний плівці. склад якої залежить від потенціалу електрода і яка має невелику іонну і електронну провідність. [C.437]