Товстоплівкові мікросхеми - студопедія

Товстими прийнято називати плівки, товщина яких перевищує 1 мкм. Найчастіше використовують плівки в кілька десятків мікрометрів. Іноді товщина плівки досягає 150-200 мкм.

Підставою толстопленочной схеми служить відпоїли-ліровать пластинка зі спеціального скла, квар-ца або кераміки. На цю підкладку методом трафив-ної друку наносять шар пасти, склад когортою залежить від характеру виготовлених елементів.

Мал. 21.3. Нанесення пасти на підкладку: / - паста; 2 трафарет. 1-4 підкладка

Після зняття трафарету (маски) підкладку з ри-Сунки з нанесеною т па сти піддають термічній обробці при температурі близько 1000 К. У ре-док утворюється фігурна плівка, товщина якої залежить від товщини фольги, з якої изготов-льон трафарет. На отриманий малюнок накладають інший трафарет і за допомогою пасти іншого складу, наносять нову плівку. При виготовленні складних схем ці процеси можуть повторюватися багаторазово. Процес нанесення пасти на підкладку показаний на рис. 21.3. Для забезпечення необхідної точності і відтворюваності параметрів схеми, а також підвищена-шення продуктивності праці цей процес автомати-тізірован. Товщина підкладки 1 мм, ширина і тривалий-на - кілька сантиметрів.

Для виготовлення провідників і контактних пло-щадок товстоплівкових схем застосовують пасту, з-тримає порошки металів з високою проводь

.

Товстоплівкові конденсатори (рис. 21.5) напів-ють послідовним формуванням плівок з провідникової і діелектричної пасти. Для діелектричної пасти використовують порошки титаната барію і сегнетокераміческіх матеріалів: з високим значенням діелектричної проникності.

Конденсатори підвищеної ємності, а також індуктивні котушки і трансформатори в толстопле-нічних схемах зазвичай роблять навісними. Товстоплівкові схеми мають ряд переваг, які забезпечують їм широке застосування перш за все в пристроях, що вимагають великої точності та ста-мобільності параметрів пасивних елементів. Вони надійні і порівняно недорогі, а використання навісних елементів дозволяє зменшити число пере-перетинів в площині і кількість вихідних контактів. Сформовану схему поміщають в герметичний корпус або заливають компаундом.

Схожі статті