Вирощування профільних монокристалів кремнію методом Степанова 1

З формоутворення меніска РОЗПЛАВУ

a Теоретичні основи формоутворення.

Принципова основа і методика отримання фасонних виробів з металів і напівпровідників з використанням різних ефектів (сил поверхневого натягу, тяжкості, електромагнітної взаємодії, гідродинамічних явищ і т.п.), які формують меніск розплаву в процесі витягування кристала, розроблені чл.-кор. АН СРСР А. В. Степановим ".

Рідина може приймати певну форму не тільки за допомогою стінок посудини, а й поза судини, у вільному стані. На цьому засновано формоутворення профільованих кристалів, принцип якого сформульований А. В. Степановим. форма або елемент форми, яку бажано отримати, створюється в рідкому стані за рахунок різних ефектів, що дозволяють рідини зберегти форму; сформований так обсяг рідини переводиться в твердий стан в результаті підбору певних умов кристалізації.

А. В. Степанов запропонував, наприклад, формувати меніск за допомогою спеціальних формоутворювачем. які розміщені в розплав так, щоб меніск розплаву зводився над щілиною в поплавці, що лежить на поверхні розплаву в тиглі і виготовленому з матеріалу, що не змочується розплавом. Для формоутворення меніска можна застосовувати також електромагнітне поле високочастотного індуктора.

Таким чином, формотворне пристрій в загальному випадку являє собою досить складний комплекс елементів. Воно дозволяє управляти формою, геометрією, тепловим станом стовпа розплаву і витягається кристала, а також розподілом домішки в кристалі. Твердий формоутворювачем характеризується фізичними властивостями матеріалу, з якого він виготовлений (його смачиваемостью, щільністю, теплопровідністю, теплоємністю), а також конфігурацією (форма отвори або щілини, глибина отвору, форма. Отвори по глибині).

В теорії витягування кристалів за способом Степанова передбачається умова:

* Сума потоків тепла, що виділяється при затвердінні розплаву, і тепла, що надходить до фронту кристалізації з рідкої фази, дорівнює потоку тепла, що відводить від фронту. кристалізації через тверду фазу.

Дана умова потрібно для стійкого росту кристалу зі збереженням габаритів його поперечного перерізу, кут сполучення рідкої фази з поверхнею зростаючого кристала # 97; є однією з важливих капілярних характеристик, що визначають процес росту і формоутворення кристала. Таким чином, форма поперечного перерізу кристала залежить від теплових і капілярних умов процесу.

Помилка в тексті? Виділи її мишкою і натисни

Залишилися реферати, курсові, презентації? Поділися з нами - завантаж їх тут!

Допоміг сайт? Став лайк!

Схожі статті