Прайм-агент для обробки поверхні підкладок перед нанесенням рідких фоторезистов.
Підсилювач адгезії СИЛ-А-01 складається з суміші розчинників гексаметілдісілазан (ГМДС) і метоксіпропілацетат (МОП-ацетату). ГМДС є найбільш відомим хімічною сполукою, що збільшує адгезію фоторезиста при обробці поверхні підкладки в парах. в струмі азоту при високій температурі.
Суміш розчинників підібрана таким чином, що після обробки підсилювачем адгезії СИЛ-А-01 на поверхні підкладки виникає мономолекулярний гідрофобний шар. Якщо використовувати чистий ГМДС замість СИЛ-А-01, то в ідентичних умовах на поверхні підкладки виникає товстий гідрофобний шар, який в подальших термічних процесах фотолітографії розкладається з утворенням газоподібних продуктів, що призводить до відшарування плівки фоторезиста.
- Виняток витрат на закупівлю спеціального обладнання для сілілірованія підкладки в паровій фазі;
- Освіта мономолекулярного гидрофобного шару на поверхні підкладки;
- Стабільність відтворення елементів топології;
- Сумісність з позитивними і негативними фоторезистом;
Інструкція по застосуванню
- Підкладку промити ацетоном і ізопропіловий спирт, або очистити технологією RCA
- Для видалення адсорбованої води підкладку прогріти при температурі 120 0 С протягом 10 хвилин на гарячій плиті або в конвекційному термошкафе при 120 0 С протягом 30 хвилин.
- Підкладку охолодити і зміцнити на центрифузі. Агент СИЛ-А-01 розподілити на всю площу підкладку крапельним або аерозольним способом. Після цього центрифугу привести в обертання при швидкості приблизно 3000 об / хв протягом 30 сек.
- Потім підкладку витримати на гарячій плиті при температурі 120 0 С протягом 2 хв або в конвекційному термошкафу при 130 0 С протягом 10 хв; На цій стадії відбувається сілілірованіе поверхневих гідроксильних груп з утворенням мономолекулярного гидрофобного шару.
- Перейти до нанесення фоторезиста відразу після охолодження підкладки і далі як зазвичай.
Що використовується обладнання та матеріали.
ПОПЕРЕДЖЕННЯ! Підсилювач адгезії СИЛ-А-01 є легкозаймистою рідиною. Гексаметілдісілазан реагує з водою з утворенням аміаку і гексаметілдісілоксана. Шкідливий при ковтанні. Оберігати від контакту зі шкірою та очима. Не вдихати. Тримати подалі від окислювачів, джерел відкритого вогню. Звертатися з обережністю. При роботі використовувати захисні окуляри, рукавички гумові, захисний одяг.
Зберігати в сухому місці при 10 ÷ 20 0 С в щільно закритій оригінальній упаковці далеко від окислювачів, тепла і джерела відкритого вогню. Не зберігати під впливом сонячного світла. Не застосовувати препарат після закінчення терміну придатності - 6 місяців. Властивості підсилювача адгезії СИЛ-А-01 повільно погіршуються при контакті з повітрям.
Утилізують підсилювач адгезії СИЛ-А-01 разом з фоторезистом і іншими розчинниками. Утилізація спільно з домашніми відходами неприпустима. Не допускати попадання в каналізацію.
Зовнішній вигляд: Прозорий розчин
Упаковка: скляна пляшка ємністю 1 літр